- Sections
- C - Chimie; métallurgie
- C23C - Revêtement de matériaux métalliques; revêtement de matériaux avec des matériaux métalliques; traitement de surface de matériaux métalliques par diffusion dans la surface, par conversion chimique ou substitution; revêtement par évaporation sous vide, par pulvérisation cathodique, par implantation d'ions ou par dépôt chimique en phase vapeur, en général
- C23C 16/452 - Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) caractérisé par le procédé de revêtement caractérisé par le procédé utilisé pour produire des courants de gaz réactifs, p.ex. par évaporation ou par sublimation de matériaux précurseurs par activation de courants de gaz réactifs avant l'introduction dans la chambre de réaction, p.ex. par ionisation ou par addition d'espèces réactives
Détention brevets de la classe C23C 16/452
Brevets de cette classe: 333
Historique des publications depuis 10 ans
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2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 | 2022 | 2023 | 2024 |
Propriétaires principaux
Proprétaire |
Total
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Cette classe
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Applied Materials, Inc. | 16587 |
56 |
Tokyo Electron Limited | 11599 |
30 |
Lam Research Corporation | 4775 |
16 |
Kokusai Electric Corporation | 1791 |
15 |
Novellus Systems, Inc. | 559 |
13 |
ASM IP Holding B.V. | 1715 |
13 |
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 1583 |
10 |
Quantum Elements Development, Inc. | 18 |
9 |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 36809 |
8 |
Samsung Display Co., Ltd. | 30585 |
6 |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | 6132 |
6 |
International Business Machines Corporation | 60644 |
5 |
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | 1282 |
5 |
Gallium Enterprises Pty Ltd. | 16 |
5 |
Beijing E-town Semiconductor Technology, Co., Ltd | 246 |
5 |
Massachusetts Institute of Technology | 9795 |
4 |
Georgia Tech Research Corporation | 2453 |
3 |
Korea Advanced Institute of Science and Technology | 3906 |
3 |
MKS Instruments, Inc. | 698 |
3 |
National University Corporation Nagaoka University of Technology | 129 |
3 |
Autres propriétaires | 115 |